-
上微與光刻巨頭ASML合作 有利于提升本土技術(shù)實力
關(guān)鍵字: ASML光刻機【本文轉(zhuǎn)自微信公眾號“科工力量”(ID:guanchacaijing)】
日前,中國半導體產(chǎn)業(yè)研發(fā)機構(gòu)上海集成電路研發(fā)中心宣布與國際光刻巨頭ASML簽訂合作備忘錄,將在上海合作共建一個半導體光刻人才培訓中心。
其實,這并不是ASML與國內(nèi)單位第一次合作——在幾個月前,上海微電子裝備(集團)股份有限公司(SMEE)宣布與之簽署戰(zhàn)略合作備忘錄。聯(lián)系到近年來多家國內(nèi)單位取得光刻機技術(shù)突破。也許在攻克光刻機技術(shù)難關(guān)方面,中國和很多領(lǐng)域一樣,選擇了兩條腿走路的方式。
高端光刻機基本依賴進口
光刻機被業(yè)界譽為集成電路產(chǎn)業(yè)皇冠上的明珠,研發(fā)最新型的光刻機的技術(shù)門檻和資金門檻非常高。目前全球高端光刻機市場基本被荷蘭ASML壟斷,Intel、臺積電、聯(lián)電、三星、格羅方德、中芯國際等世界馳名的晶圓廠都是ASML的大客戶。最先進的EUV光刻機全球僅僅ASML能夠生產(chǎn)——Intel、三星、臺積電用來加工10nm芯片的光刻機都是購買自ASML。
正是因為技術(shù)上的壟斷地位,以及光刻機本身研發(fā)成本高、制造成本不菲,ASML的EUV光刻機售價非常高,在去年第三季度和第四季度出售的兩臺EUV光刻機售價都超過1億美元,落后EUV一代的ArF光刻機平均售價也在4000萬至5000萬歐元左右。
ASML EVU光刻機
ASML之所以能在高端光刻機領(lǐng)域獨占鰲頭,本質(zhì)上也是西方國家科學技術(shù)充分整合的體現(xiàn),ASML生產(chǎn)光刻機所用的關(guān)鍵零部件,比如光源、物鏡其實也是西方供應商提供,像加工光學儀器的機床等一些設(shè)備也是源自德國。此外,Intel、臺積電、三星都是ASML的股東之一,向ASML提供資金。
相比之下,國內(nèi)光刻機廠商則顯得非常寒酸,處于技術(shù)領(lǐng)先的上海微電子裝備有限公司已量產(chǎn)的光刻機中性能最好的是能用來加工90nm芯片的光刻機,技術(shù)差距說是鴻溝都不為過,正是因此,國內(nèi)晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口。
網(wǎng)上一些輿論很喜歡將中國在某個領(lǐng)域的技術(shù)水平和西方最先進的國家相比,然后得出一些非常悲觀的結(jié)論。在光刻機方面,如果將中國與荷蘭做對比也許就不那么合適了。畢竟中國在該項技術(shù)上,并非落后于某一個國家,而是在與整個西方的高端精密制造實力相較量。
國內(nèi)單位在光刻機領(lǐng)域取得突破
正是因為高端光刻機是非常關(guān)鍵的半導體設(shè)備,國家對于實現(xiàn)高端光刻機國產(chǎn)化非常重視,《中國制造2025》將其列為了集成電路制造領(lǐng)域的發(fā)展重點。因此,即便在光刻機技術(shù)上中國與ASML的差距非常大,國內(nèi)各單位其實也在刻苦攻堅,力爭實現(xiàn)技術(shù)突破,以實現(xiàn)早日追趕上ASML。
在去年,成都光機所找到了一條能夠繞開傳統(tǒng)的193nm曝光的技術(shù)路線,利用長波長光源也可以得到一個突破衍射極限的分辨率的圖形。在實驗中,這種光刻機可以實現(xiàn)單次成像達到22納米水平,如果結(jié)合多重曝光技術(shù),就可以用于制備10納米以下的信息器件。必須說明的是,這種技術(shù)如果能夠產(chǎn)業(yè)化,那么相對于現(xiàn)有的技術(shù)而言,在成本上和安全性方面都會有一個很大的提升,而且成都光機所取得的技術(shù)突破是國內(nèi)原創(chuàng)性技術(shù)。
-
本文僅代表作者個人觀點。
- 請支持獨立網(wǎng)站,轉(zhuǎn)發(fā)請注明本文鏈接:
- 責任編輯:孫武
-
“特朗普,聽聽勸吧,我們需借鑒中國” 評論 26“中國打樣后,印度突然硬氣了” 評論 181“中國在南美建巨型碼頭,確保替代美國糧食” 評論 89政策突轉(zhuǎn),特朗普中東行大撒先進AI芯片 評論 147最新聞 Hot
-
“特朗普,聽聽勸吧,我們現(xiàn)在需要借鑒中國”
-
巴基斯坦回應莫迪:危險的升級
-
針對英美“毒丸”條款,我駐英使館:中方將作出必要反應
-
馮德萊恩,敗訴
-
他倆見了,“25年來首次”
-
“這不是復古是犯罪”,德國取締了
-
“中國打樣后,印度突然硬氣了”
-
“中國在南美建巨型碼頭,確保替代美國糧食”
-
法國稱“真沒藏毒”,扎哈羅娃嘲諷…
-
沙特對美投資6000億?“實際一半都不到”
-
印度還慶祝上了,全國大賀10天!
-
又降了:125%→54%→30%
-
旗下餐廳拒絕接待中國客人,日本公司道歉
-
政策突轉(zhuǎn),特朗普中東行大撒先進AI芯片
-
跟著特朗普去中東推銷星鏈,馬斯克賺大發(fā)了?
-
美國特務(wù)們的“噩夢”…
-