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ASML明年出貨30臺EUV光刻機新一代設(shè)備效能提升24%

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2018-10-20 22:22:26 字號：A- A A+ 來源：TechNews科技新報

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來源：TechNews科技新報

就在臺積電與三星陸續(xù)將晶圓制造先進制程推向7納米節(jié)點之際，全球半導(dǎo)體設(shè)備大廠艾司摩爾（ASML）也表示，在2018年預(yù)計出貨總共18臺極紫外光光刻機（EUV）之后，2019年更將把出貨量提升到30臺。而且，還將在2019年下半年推出效能較前一代EUV提升24%的全新機款，以逐步滿足市場需求。

ASML明年出貨30臺EUV光刻機新一代設(shè)備效能提升24%

根據(jù)ASML日前所公布的2018年第3季財報指出，該季營收達到27.8億歐元，其中，設(shè)備銷售營收為20.81億歐元，安裝管理服務(wù)等業(yè)務(wù)營收達6.95億歐元，數(shù)字較第2季成長13.4%，較2017年同期也成長1%。毛利率達到了48.1%，相較第2季增加5.2個百分點，較2017年同期也增加了4.8個百分點。

以EUV的銷售情況來看，ASML在第3季總共出貨了5臺EUV，而第2季則是出貨7臺EUV，在預(yù)計第4季還將出貨6臺EUV的情況下，全年總計將出貨的數(shù)量將達到18臺，還預(yù)計2019年EUV的出貨數(shù)量將放大到30臺。

另外，而在EUV的銷售中，韓國公司占銷售金額比重33%，中國臺灣公司占比為30%，而中國大陸公司的銷售占比則為18%。這樣的數(shù)字，相較第2季的情況，韓國公司下降2個百分點，中國臺灣公司則是提升了12百分點，中國大陸公司則是下跌1個百分點。

而就2019年整體EUV預(yù)估出貨的情況來分析，除了EUV出貨數(shù)量將大幅成長之外，ASML在2019年下半年還將推出效能進一步強化的NXE:3400C型EUV光刻機，其每小時處理的晶圓數(shù)量（WPH）將能達到155片，較目前的NXE:3400B型EUV光刻機的WPH能達成125片的效能來說，NXE:3400C型的產(chǎn)能預(yù)計將提升24%，這對改善EUV制程的產(chǎn)能將很有幫助。

不過，雖然將推出新一代NXE:3400C型EUV光刻機，其效能較上一代EUV能提升24%。但是，要全面取代傳統(tǒng)的氟化氬（ArF）沉浸式光刻機，可能還有一段時間。

因為，即便新一代NXE:3400C型EUV光刻機能達到155 WPH的產(chǎn)能，但是相較現(xiàn)在的（ArF）沉浸式光刻機產(chǎn)能可達250 WPH來說，EUV光刻機的產(chǎn)能還有一大段距離要努力。所以，要全面取代目前仍為時尚早。
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- 原標(biāo)題：ASML明年出貨30臺EUV光刻機新一代設(shè)備效能提升24%
- 責(zé)任編輯:呂棟
- 最后更新: 2018-10-20 22:22:26
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