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事關(guān)芯片！我國(guó)成功開發(fā)這一新技術(shù)
最后更新: 2025-03-28 15:16:24據(jù)微信公眾號(hào)“西湖儀器”消息，近日，由西湖大學(xué)孵化的西湖儀器（杭州）技術(shù)有限公司成功開發(fā)出12英寸碳化硅襯底自動(dòng)化激光剝離技術(shù)，解決了12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片難題。
與傳統(tǒng)的硅材料相比，碳化硅具有更寬的禁帶能隙、更高的熔點(diǎn)、更高的電子遷移率以及更高的熱導(dǎo)率，能夠在高溫、高電壓條件下穩(wěn)定工作，已成為新能源和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)升級(jí)的關(guān)鍵材料，推動(dòng)電動(dòng)汽車、光伏發(fā)電、智能電網(wǎng)、無線通信等領(lǐng)域的技術(shù)革命。
但襯底材料成本占據(jù)整體成本的比例依然居高不下，嚴(yán)重阻礙了碳化硅器件大規(guī)模的產(chǎn)業(yè)化推廣。降本增效的重要途徑之一是制造更大尺寸的碳化硅襯底材料。與6英寸和8英寸襯底相比，12英寸襯底材料能夠進(jìn)一步擴(kuò)大單片晶圓上可用于芯片制造的面積，在同等生產(chǎn)條件下，顯著提升產(chǎn)量，降低單位成本。
2024年12月，國(guó)內(nèi)碳化硅頭部企業(yè)已披露了最新一代12英寸碳化硅襯底，在引領(lǐng)國(guó)際發(fā)展趨勢(shì)的同時(shí)，也提出了12英寸以上的超大尺寸碳化硅襯底切片需求。與之相應(yīng)，西湖儀器以最快速度推出了“超大尺寸碳化硅襯底激光剝離技術(shù)”，率先解決了12英寸及更大尺寸的碳化硅襯底“切片”難題。
“該技術(shù)實(shí)現(xiàn)了碳化硅晶錠減薄、激光加工、襯底剝離等過程的自動(dòng)化?！蔽骱髮W(xué)工學(xué)院講席教授仇旻介紹，與傳統(tǒng)切割技術(shù)相比，激光剝離過程無材料損耗，原料損耗大幅下降。新技術(shù)可大幅縮短襯底出片時(shí)間，適用于未來超大尺寸碳化硅襯底的規(guī)模化量產(chǎn)，進(jìn)一步促進(jìn)行業(yè)降本增效。
（綜合自西湖儀器、科技日?qǐng)?bào)等）
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